Внимание!!!


Мы переехали на новый сайт: exlibrus.net!

Ваш аккаунт перенесен на наш новый сайт. Вы сможете зайти через страничку "Я забыл пароль", введя свой e-mail, который Вы использовали при регистрации. На него будет выслан код подтверждения, воспользовавшись которым, Вы сможете изменить пароль.

Сайт www.exlibrus.de Вы можете использовать только в информационных целях!

С уважением Ваш Exlibrus

Труды ФТИАН. Т. 27. Квантовые компютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование (978-5-02-040089-4)


Katalog: Серийные и продолжающиеся издания -> Наука. Математика. Физика. Химия. Биология
Kein Bild.
Titel:
Труды ФТИАН. Т. 27. Квантовые компютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование 
Autor:
 
Verleger:
Наука
Erscheinungsort:
Санкт-Петербург  (Russian Federation)
Erscheinungsjahr:
2018 
Seitenanzahl:
138, Broschiert 
Serie:
 
ISBN:
978-5-02-040089-4
EAN:
9785020400894
Preis:
EUR 29,00
Delivery time:
Deliverable within 4-6 weeks
Anmerkungen:
-
Монографический сборник представляет теоретические и эксперименталные резултаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефалных схем (УБИС), наноструктур для твердотелных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11–32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся резултаты в области микроструктурирования пористых лоw-к диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Болшинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России.