Внимание!!!

Основан в 1972 г. Журнал «Микроэлектроника» публикует стати, посвященные технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание издание уделяет новым тенденциям в литографии, травлению, легированию, осаждению и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях, плазменным технологиям, молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Обсуждаются вопросы приборно-технологического моделирования и диагностики технологических процессов в реалном времени. Публикуются стати о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимост.